Tæknilegar Yfirlit

Prime Vinnsla System

The Engineering ávöxtun System (JÁ) LP-III er a tri-hagnýtur tómarúm ofn sem hægt er að nota til að tómarúm gufu grunninn, ímynd umskipti og silylation. Með HMDS kolbu bægja, eining mun virka eins og a staðall tómarúm gufu grunnur. HDMS gufu grunninn er notað til að bæta viðloðun photoresist til obláta. Með HDMS hitari á, eining mun veita meiri þrýstingi heitt HDMS fyrir silylation.

* Örgjörvi stjórnað
* 120 VAC, 11,3, 60Hz, 1300 wött
Á * Forhita N2 (Aðferð Gas)
* Takkalásinn
* Vaccuum Pump - CFM
* Notanda Handbók
* Hitastig hærra en 200 gráður C