Rie Kerfi með eftirfarandi eiginleika:

• Fullly sjálfvirk Rie kerfi með tölvu stjórn, CRT og hljómborð  
• SST Chamber  
• 12 "Vatn kælt rafskaut  
• Balzers Turbo Pump  
• Leybold Mechanical Pump  
• AE RFX 600 Aflgjafi með farartæki sem passa netinu  
• Laser endapunktur Uppgötvun
• Bay Voltex Vatn Chiller