Tæknilegar Yfirlit

Í mars CS-1701 reactive Ion æta og rækta (Rie) kerfi skilar hár endir málm æting og silicide æting og æting á III-V efnum og anisotropic æting af oxcides nítröt og polyimides.

Reactor Module

Gas Meðhöndlun Module

RF Rafall

10 "D x 1,5" H (25,4 x 3,8 cm) harður anodized ál

Halda á 4 "eða 6" flatbrauð 8 "hæfileiki valfrjálst

0-600 wött

Sjálfvirk leit

Sjálfvirk sjón endapunktur uppgötvun