Perfect fyrir rannsóknir og Litrófsgreining rannsóknum.

Samhliða plata gerð Rie - 11 "Efri rafskaut & 9" minni rafskaut

Multi-obláta stærð hanna allt að 8 "wafers

Grafít lögun disk

Stillanlegur efri rafskaut hæð

Seiko Seiki Turbo dælu (STP-H300C) m / Seiko Seiki STP stjórnandi

9 MFC (allt MKS 1159)

Ítarlegri Orka RFPP 5S m / AM5 samsvörun net

290 Ion mál stjórnandi

MKS 286 Controller

Aftengja reitinn

Plasmatherm PC OS

208v, 60amp, 60Hz 3 fasa