Sinossi tecnico

Film Sistema di misurazione

Spessore Gamma

* I 100-500,000 angstrom

Spot size

* I 50ym con Obiettivo 5X
* I 25ym con obiettivo 10x
* I 6.5ym con obiettivo 40x

Riproducibilità

* 5A + o - 5%
* Dipende dal tipo di pellicola
* Tempo di misura 2,5 sec (tipico)

TIPI DI FILM

* Il nitruro di silicio
* Polysilicon di ossido di
* Nitruro di ossido di
* Ossido di silicio
* Resist negativo su silicio
* Resist negativo di ossido di
* (I film di spessore) 115V 50/60 Hz