Sinossi tecnico

Prime Sistema di elaborazione

Il sistema di Ingegneria Yield (YES) LP-III è un tri-funzionale forno a vuoto che può essere utilizzato per adescamento vapore sotto vuoto, inversione immagine e sililazione. Con il pallone di testa HMDS off, l'unità funzionerà come un primer standard vuoto vapore. HDMS priming vapore viene usato per migliorare l'adesione del fotoresist al wafer. Con il riscaldatore HDMS, l'unità fornirà HDMS pressioni superiori caldi per sililazione.

* Controllata da microprocessore
* 120 VAC, 11,3, 60Hz; 1300 watt
* I N2 preriscaldato (gas di processo)
* Keylock
* Vaccuum Pompa - CFM
* Manuale d'uso
* La temperatura più in alto 200 gradi C