Sistema RIE con le seguenti caratteristiche:

• Fullly sistema automatizzato di RIE, con computer di controllo, CRT e tastiera  
• SST Camera  
• 12 "Elettrodo Water Cooled  
• Balzers pompa Turbo  
• Leybold pompa meccanica  
• AE RFX 600 Alimentazione con la rete automatica di corrispondenza  
• Laser Endpoint di rilevamento
• Bay VOLTEX Water Chiller