טכנית תקציר

סרט מדידה מערכת

עובי טווח

* Quick 100-500,000 אנגסטרם

במקום גודל

* Quick 50ym עם המטרה 5X
* Quick 25ym עם המטרה 10X
* Quick 6.5ym עם המטרה 40X

שחזור

* 5 א + או - 5%
* תלוי בסוג הסרט
* מדידת זמן 2.5 שניות (אופייני)

סרט סוגי

* Nitride על הסיליקון
* Polysilicon על אוקסיד
* Nitride על אוקסיד
* אוקסיד על הסיליקון
* שלילי להתנגד על הסיליקון
* שלילי להתנגד על אוקסיד
* (סרטים עבה) 115V 50/60 הרץ