טכנית תקציר

ראש מערכת עיבוד

תשואה הנדסת מערכת (YES) LP-III הוא תנור תלת תפקודית ואקום שניתן להשתמש בהם עבור תחול אדי אבק, היפוך תמונה silylation. עם ראש הבקבוק HMDS את היחידה יפעל כמו פריימר תקן ואקום אדי. תחול HDMS אדי משמש כדי לשפר את הידבקות של photoresist על פרוסות סיליקון. עם דוד HDMS על, היחידה תספק HDMS הלחץ גבוה יותר חם עבור silylation.

* המיקרו נשלט
* 120 וולט AC, 11.3, 60 הרץ, 1300 וואט
* Quick N2 שחומם מראש (גז תהליך)
* נעילת מקשים
* משאבת Vaccuum - CFM
* משתמש של ידני
* טמפרטורה גבוה ככל 200 מעלות צלזיוס