טכנית תקציר

CS-1701 מרץ הריאקטיבי יון Etch (ורי) המערכת למשתמשי קצה מתכת תחריט, תצריב ותחריט silicide של תרכובות III-V, תצריב אניסוטרופי של oxcides, חנקות polyimides.

הכור מודול

טיפול בגז מודול

מחולל RF

10 "D x 1.5" H (25.4 צילומי 3.8 ס"מ) אלומיניום קשיח

מחזיק על פרוסות סיליקון 4 "או 6", 8 "היכולת לא חובה

0-600 וואט

כוונון אוטומטי

נקודת הסיום זיהוי אופטי אוטומטי