מושלם עבור מחקרים & ספקטרומטריית.

במקביל צלחת סוג ורי - 11 "האלקטרודה עליון & 9" אלקטרודה נמוכה

רב פרוסות סיליקון בגודל לעצב עד 8 ​​"ופלים

תכונה גרפיט צלחת

מתכוונן לגובה האלקטרודה העליונה

Seiko SEIKI טורבו המשאבה (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP בקר

9 MFC (כל MKS 1159)

מתקדם אנרגיה RFPP 5S w / AM5 התאמה לרשת

290 יון בקר מד

MKS 286 Controller

נתק תיבת

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3 שלב