技術概要

TemescalモデルBJD-1800 E-ビーム蒸着装置は、研究開発目的のために薄い金属膜のために設計されています。

機能：

• 最大10kWの出力電力と4-10kVのの発光電圧
• 270度3の電子ビームdeflectrion、
• 永久磁石
• 横方向と縦方向のビーム掃引制御
• 10E-7 Torrの真空機能
• 基板間距離10〜 "ソース25,000オングストローム/アルミニウム分の蒸発速度。