技術概要

フィルム測定システム

厚さの範囲

* 100-500,000オングストローム

スポットサイズ

5Xを目的とした* 50ym
10Xを目的とした* 25ym
40Xを目的とした* 6.5ym

再現性

* 5A +または - 5％
*フィルムの種類に依存し
*測定時間2.5秒（代表値）

フィルムタイプ

シリコン上の窒化*
酸化物上にポリシリコン*
酸化物上に窒化*
シリコン上の酸化物*
*シリコン上にネガ型レジスト
*酸化物上にネガ型レジスト
*（厚膜）115V 50/60 Hzの