技術概要

デュアルスタックは、単一のキャリア、150ミリメートル、フロントローディングのスピンリンザーとドライヤーを備えています。

ウェハサイズ：最大6 "
マスクサイズ：最大5 "×5"
マイクロプロセッサベースのコントローラ
サイクルタイム0から9999秒。
RPM 0から3200まで
120V 50/60 Hzの15A