技術概要

月CS-1701反応性イオンエッチング（RIE）システムは、ハイエンドの金属エッチング、エッチングおよびIII-V族化合物、oxcides、硝酸塩とポリイミドの異方性エッチングのエッチングシリサイドを提供しています。

原子炉モジュール

ガス処理モジュール

RFジェネレータ

10 "D×1.5" H（25.4×3.8 cm）の硬質アルマイトアルミニウム

8 "の機能、オプション4"または6 "ウェーハ上に保持

0〜600ワット

自動同調

自動光学終点検出