技術概要

プラズマプロセスを介してウエハからフォトレジストストリップ。

11 CFM機械式ポンプ
13.56MHzのRFジェネレータ200ワット
2つのガス
120V、50/60Hzの、15アンペア
ユーザーズマニュアル