製品： プラズマ
テガルプラズマ915バッチ3エッチング - 販売
技術概要
高さ34 "
幅24 "
深さ36 "
重量約：400 LBS
ポンプD 30
ウエハ生産能力：100-125mn 220 VAC
電極ケージ
高さ8.26 "
幅16.37 "
深さ12.38 "
反応チャンバ
高さ10 "
幅18 "
深さ12.75 "
技術概要
高さ34 "
幅24 "
深さ36 "
重量約：400 LBS
ポンプD 30
ウエハ生産能力：100-125mn 220 VAC
電極ケージ
高さ8.26 "
幅16.37 "
深さ12.38 "
反応チャンバ
高さ10 "
幅18 "
深さ12.75 "
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