そのクラスで最高の表面プロファイラの一つです。 Dektak 3030表面プロファイラは、正確に131ミクロンから基板表面の多種多様な上に50オングストロームの高さまでの垂直方向の機能を測定する高度な表面形状計測システムです。

技術仕様

• スタイラス： 12.5μmの半径（ダイヤモンド）
• スキャン： X：50μmの50ミリメートル
• Z：100Å-131μmの
• zの解像度： 1Å/65KÅ
• 10Å/655KÅ
• 20Å/1310KÅ
• 力： 1から40 mgの
• ズーム： 35倍-200X
• 速度範囲をスキャンする場合： 低、中、高
• 平準化： 取扱説明書、二点のプログラマブルまたはカーソルレベリング
• スタイラスは、トラッキングフォース： プログラム可能な、1から40ミリグラム（0.01から0.4ミリニュートン）
• 最大試料厚さ： 45ミリメートル（1.75インチ）
• 最大サンプル重量： 0。 キログラム（1ポンド）
• 試料ステージ直径： 165ミリメートル（6.5インチ）
• 試料ステージ翻訳： X軸 、±76ミリメートル（±3インチ）（中心から）
• Y軸、 - 76ミリメートル（3.0インチ）
• 試料ステージの回転： シータ、360°
• 電源要件： 100/115/220 VAC±10％、50から60 Hz、200 VA
• ウォームアップ時間： 最大の安定のために推奨される15分
• 動作温度： 21°C±3°C（70°F±5°F）

ドキュメントとプリンタと30日間の保証が付属しています。