공학 제도를 맺고, YES-5는 진공 구워 증기 프라임 시스템입니다. 시스템은 포토 레지스트 부착을위한 이상적인 표면을 만들 수 있도록 설계되었습니다.

1. 입력 모니터링과 출력의 마이크로 프로세서 제어
2. 멀티 프로그래밍 기능
3. 사이클 전체 / 취소 빛과 sonalert
4. Electropolished 316 스테인레스 스틸 챔버
5. 내부 챔버 용접
6. 두 개의 독립적인 overtemperature 안전 스위치
7. Preheated 질소
8. 질소 필터, 0.5 미크론
9. 최상위 용접, 내부 스테인레스 스틸 선반
10. 프로그램 잠금 아웃
11. 사이드 마운트 HMDS 플라스크