다음과 같은 기능과 RIE 시스템 :

• 컴퓨터 제어, CRT 및 키보드와 Fullly 자동 RIE 시스템  
• SST 상공 회의소  
• 12 "물 냉각 전극  
• Balzers 터보 펌프  
• Leybold 기계식 펌프  
• 자동 매칭 네트워크와 AE RFX 600 파워 서플라이  
• 레이저 종점 검출
• 베이 Voltex 워터 냉각기