기술 시놉시스

스트립은 플라즈마 공정을 통해 웨이퍼의 포토 레지스트.

CFM 기계식 펌프 (옵션)
13.56 MHz의 RF 발생기 200 와츠
두 가스
120V, 50/60Hz, 15A
사용자 설명서