제품 : 플라즈마
학술적 220 II 마이크로 스트리퍼
기술 시놉시스
스트립은 플라즈마 공정을 통해 웨이퍼의 포토 레지스트.
11 CFM 기계식 펌프
13.56 MHz의 RF 발생기 200w
두 가스
120V, 50/60Hz, 15A
사용자 설명서
기술 시놉시스
스트립은 플라즈마 공정을 통해 웨이퍼의 포토 레지스트.
11 CFM 기계식 펌프
13.56 MHz의 RF 발생기 200w
두 가스
120V, 50/60Hz, 15A
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