혈장
이온 밀스
필름 두께
시스템의 스퍼터
Evaporators
오븐
Chillers
여러 가지 잡다한
표면 프로파일
노
전원 공급 장치
마스크 Aligners
가스 캐비닛
제품 :
표면 프로파일
알파 단계 200
Profilometer 수직 측정 범위
+ / - 최대까지 자동 - 160 KA 또는 160um -20 ~ 50
해상도 - 수직 : + /와 5A - 160 KA 400
스타일러스 반경 표준 12.5um 혹은 5.0um
스타일러스 추적 힘 - 조정 1과 25mg 사이
정밀 XY 스테이지 X 축 100mm Y 축 81mm Z 축 21mm
최대 샘플 크기 162mm
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