Techninė Trumpa apžvalga

Pirmininko Apdorojimo sistema

Derlingumas inžinerija sistema (TAIP) LP-III yra tri-funkcinis vakuuminė džiovinimo spinta, gali būti naudojami vakuuminės garų gruntavimo, vaizdo mažinimo ir Sililinimo. Su HMDS kolbą galvą, įrenginys veiks kaip standartinis vakuuminės garų gruntu. HDMS garų gruntas naudojamas pagerinti sukibimą, fotorezisto su vaflių. Su HDMS šildytuvo, vienetas pateikti aukštojo slėgio karšto HDMS už Sililinimo.

* Mikroprocesorinė valdymo
* 120 VAC; 11,3; 60 Hz, 1300 W
* Įkaitintoje N2 (proceso dujų)
* Klaviatūros užrakinimo
* Vakuumo siurblys - CFM
* Vartotojo vadovas
* Toks didelis, kaip 200 laipsnių C temperatūros