RIE sistema su šiomis savybėmis:

• Fullly RIE automatizuota sistema su valdymo kompiuterio, CRT ir klaviatūros  
• SST rūmai  
• 12 "aušinamas vandeniu Elektrodų  
• Balzers Turbo Siurblio  
• Leybold Mechaninė siurblys  
• AE RFX 600 Maitinimo šaltinis su auto atitikimo tinklo  
• Endpoint aptikimas lazeriu
• Bay Voltex vandens šaldymo mašinos