Puikiai tinka mokslinių tyrimų ir spektrometrija tyrimų.

Paralelus plokštė tipas RIE - 11 "Viršutinis elektrodas ir 9" apatinis elektrodas

Multi-vaflis dydis projektuoti iki 8 plokštelių

Grafito funkcija plokštė

Reguliuojamas viršutinis elektrodas aukštis

"Seiko Seiki. Turbo siurblys (STP-H300C.) W / Seiko Seiki MTP valdytojas

9 MFC (visi MKS 1159)

Išplėstinė. Energetika RFPP 5S w / AM5 atitikimas tinklas

290 jonų matuoklis kontrolierius

MKS 286 Valdiklis

Atjunkite langelį

Plasmatherm kompiuterio OS

208V, 60amp, 60Hz 3 etapas