Tehniskie Anotācija

Filma Mērījumu sistēma

Biezums diapazons

Valodā * 100-500,000 angstrēmu

Punkta izmērs ir

Valodā * 50ym ar 5X mērķa
Valodā * 25ym ar 10X mērķa
Valodā * 6.5ym ar 40x mērķa

Reproducējamība

* 5A + vai - 5%
* Atkarīgs no plēves tipa
* Mērīšanas laiks 2,5 sek (tipisks)

Plēvi

* Nitrīda uz silīcija
* Polisilikona par oksīda
* Nitrīda par oksīda
* Oksīds uz silīcija
* Negatīvs Pretoties uz silīcija
* Negatīvs Pretoties par oksīda
* (Biezas filmas) 115V 50/60 Hz