Raža Engineering System; JĀ-5 ir Vakuuma Cept Vapor prezidents sistēma. Sistēma ir izstrādāta, lai radītu ideālu virsmu photoresist saķeres.

1. Mikroprocesora kontrole rezultātu, ieejas kontroles
2. Multi-programmēšanas iespējas
3. Cikls pabeigts / pārtraukt gaismu un sonalert
4. Electropolished 316 nerūsējošā tērauda kamerā,
5. Iekšējā kamera šuves
6. Divi neatkarīgi pārkaršanas drošības slēdži
7. Uzkarsētā slāpekļa
8. Slāpekļa filtrs, 0,5 mikronu
9. Top-metinātas, iekšējais nerūsējošā tērauda plaukts
10. Programma lokautu
11. Sānos novietotais HMDS kolba