Tehniskie Anotācija

Martā CS-1701 Reaktīvās jonu kodināt (Rie) sistēma nodrošina augstu end metāla kodināšanu, silicīda kodināšanas un kodināšanas no III-V savienojumi, anizotropām kodināšanas no oxcides nitrāti un poliimīdi.

Reaktors modulis

Gāzes tehnika modulis

RF ģenerators

10 "D x 1,5" H (3.8 25.4 x cm) grūti anodēta alumīnija

Turekļi 4 "vai 6" vafeļu, 8 "spējas obligāta

0-600 vati

Automātiska regulēšana

Automātiskā optisko parametru noteikšana