Технички Синопсис

Филм системот за мерење

Дебелина опсег

* 100-500,000 angstroms

Место големина

* 50ym со 5x Цел
* 25ym со 10x Цел
* 6.5ym со 40x Цел

Reproducibility

* 5A + или - 5%
* Во зависност од видот филм
* Мерење Време 2,5 сек (типичен)

Типот на филмот за

* Нитрид на силикон
* Polysilicon на оксид
* Нитрид на оксид
* Оксид на Силиконската
* Негативни Пружи отпор на силикон
* Негативни Пружи отпор на оксид
* (Дебела филмови) 115V 50/60 Hz