Sinopsis teknikal

Sistem Pengukuran Filem

Julat ketebalan

* 100-500,000 angstroms

Saiz spot

* 50ym dengan Objektif 5x
* 25ym dengan Objektif 10x
* 6.5ym dengan Objektif 40X

Kebolehulangan

* 5A + atau - 5%
* Bergantung kepada jenis filem
* Pengukuran Masa 2.5 saat (tipikal)

FILEM JENIS

* Nitrida pada Silikon
* Polisilikon pada Oksida
* Nitrida pada Oksida
* Oksida pada Silikon
* Negatif Tahan pada Silikon
* Negatif Tahan pada Oksida
* (Filem tebal) 115V 50/60 Hz