Sinopsis teknikal

Sistem Perdana Pemprosesan

Sistem Hasil Kejuruteraan (YES) LP-III ketuhar vakum tiga fungsi yang boleh digunakan untuk penyebuan wap vakum, pembalikan imej dan silylation. Dengan kepala kelalang HMDS off, unit ini akan berfungsi sebagai vakum standard wap primer. HDMS penyebuan wap digunakan untuk meninggikan penjerapan photoresist wafer. Dengan pemanas HDMS pada, unit ini akan membekalkan HDMS tekanan yang panas untuk silylation yang lebih tinggi.

* Mikropemproses Dikawal
* 120 VAC; 11,3; 60Hz, 1300 watt
* N2 diprapanaskan (Proses Gas)
* Keylock
* Pam Vaccuum - CFM
* Pengguna Manual
* Suhu yang tinggi seperti 200 darjah C