Sempurna untuk Penyelidikan & kajian Spektrometri.

Selari plat jenis Rie - 11 "elektrod Atas & 9" elektrod yang lebih rendah

Multi-wafer saiz merekabentuk sehingga 8 "wafer

Ciri plat grafit

Ketinggian elektrod atas boleh laras

Bak Seiki turbo pam (STP-H300C) w / Bak Seiki STP pengawal

9 MFC (semua MKS 1159)

Advanced Tenaga RFPP 5S w / AM5 pemadanan rangkaian

290 Ion Tolok pengawal

MKS 286 Pengawal

Mencabut kotak

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3 fasa