Sinopsis teknikal

Ketinggian 34 "
Lebar 24 "
Kedalaman 36 "
Lebih kurang berat: 400 LBS
Pam D 30 A
Kapasiti wafer: 100-125mn 220 VAC

Sangkar elektrod
Ketinggian 8,26 "
Lebar 16,37 "
Kedalaman 12,38 "

Chamber TINDAK BALAS
Ketinggian 10 "
Lebar 18 "
Kedalaman 12,75 "