Prodotti: profilers wiċċ
Dektak IIA
- Programmabbli lineari iskannjar sistema użata għall-kejl preċiża dwar karatteristiċi vertikali li jvarjaw fl-għoli minn 100 - 655,000 angstroms
- Riżoluzzjoni vertikali 5 angstroms, skansjoni 4 - 65 sekondi
- 12.5 mikron raġġ istilus ma '10 - forza traċċar 50mg
- Stadju jistgħu jimmaniġġjaw sa 5 "dijametru wafer jew partijiet sa 3/4" ħoxna
- Massimu ta 'punti tad-data 1000
- 3 veloċitajiet skanjar
- Mikroskopju 70x huwa standard
