Technische Synopsis

Film Meet Systeem

Dikte Range

* 100-500,000 angstrom

Spot size

* 50ym met 5x Doelstelling
* 25ym met 10X Doelstelling
* 6.5ym met 40x objectief

Reproduceerbaarheid

* 5A + of - 5%
* Afhankelijk van type film
* Meettijd 2,5 sec (normaal)

Filmtypen

* Nitride on Silicon
* Polysilicium op Oxide
* Nitride op Oxide
* Oxide op silicium
* Negatieve Resist on Silicon
* Negatieve Resist op Oxide
* (Dik Films) 115 V 50/60 Hz