Technische Synopsis

Prime Processing System

De Yield Engineering System (YES) LP-III is een tri-functioneel vacuüm oven die gebruikt kunnen worden voor vacuüm damp priming, beeld omkering en silylering. Met de HMDS fles hoofd eraf, zal het toestel functioneert als een standaard vacuüm damp primer. HDMS damp priming wordt gebruikt om de hechting van de fotoresist de wafer verbeteren. Met de HDMS verwarming aanzet, zal het toestel leveren hogere druk hot HDMS voor silylering.

* Microprocessor Controlled
* 120 VAC, 11,3, 60 Hz, 1300 watt
* Voorverwarmde N2 (Proces Gas)
* Keylock
* Vaccuum pomp - CFM
* User's Manual
* Temperatuur zo hoog als 200 graden C