RIE-systeem met de volgende kenmerken:

• Volledig kunnen geautomatiseerd RIE systeem met computerbesturing, CRT en het toetsenbord  
• SST Kamer  
• 12 "Water gekoelde Elektrode  
• Balzers Turbo Pump  
• Leybold mechanische pomp  
• AE RFX 600 voeding met automatische matching-netwerk  
• Laser Endpoint Detectie
• Bay Voltex Water Chiller