Perfect voor Research & Spectrometrie studies.

Parallel plaattype RIE - 11 "Upper elektrode & 9" lagere elektrode

Multi-wafer maat tot ontwerp tot 8 "wafers

Graphite functie plaat

Verstelbare bovenste elektrode hoogte

Seiko Seiki turbo pomp (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP-controller

9 MFC (alle MKS 1159)

Geavanceerde Energie RFPP 5S w / AM5 matching-netwerk

290 Ion Gauge controller

MKS 286 Controller

Koppel box

Plasmatherm PC-besturingssysteem

208V, 60amp, 60Hz 3 fase