Producten: Oppervlakte Profilers
Dektak IIA
- Programmeerbare Lineaire scanning systeem dat wordt gebruikt voor nauwkeurige metingen bij verticale functies, variërend in hoogte van 100 - 655.000 Angstrom
- Verticale resolutie 5 Angstrom-, scan-tijd 4 - 65 seconden
- 12,5 micron straal stylus met een 10 - 50 mg volgen van kracht
- Stage kan tot een 5 "diameter wafer of onderdelen tot en met 3/4" dik
- Maximaal 1000 datapunten
- 3 scansnelheden
- 70x microscoop is standaard
