Yield Engineering System; JA-5 er et vakuum Bake Vapor Prime System. Systemet er designet for å skape den ideelle overflaten for fotoresist vedheft.

1. Mikroprosessor kontroll av produksjonen med innspill overvåking
2. Multi-programmeringsmuligheter
3. Cycle komplett / abort lys og sonalert
4. Elektropolert 316 rustfritt stål kammer
5. Intern kammer sveiser
6. To uavhengige overtemperatur sikkerhetsbrytere
7. Forvarmet nitrogen
8. Nitrogen filter, 0.5 mikron
9. Topp-sveiset, intern rustfritt stål hylle
10. Program lock-out
11. Sidemontert HMDS kolbe