Produkter: Plasma
Axic PlasMaster RIE System
RIE System med følgende funksjoner:
- Fullly automatisert RIE system med datastyring, CRT og tastatur
- SST Chamber
- 12 "vannkjøling elektrode
- Balzers Turbo Pump
- Leybold mekanisk pumpe
- AE RFX 600 Power Supply med automatisk matching nettverk
- Laser Endpoint Detection
- Bay Voltex Water Chiller
