Perfekt for Research & Spectrometry studier.

Parallell plate typen RIE - 11 "Upper elektrode & 9" nedre elektrode

Multi-wafer størrelse designe opp til 8 "wafere

Grafitt funksjonen plate

Justerbar øvre elektrode høyde

Seiko Seiki turbo pumpe (STP-H300C) w / Seiko Seiki STP-kontrolleren

9 MFC (alle MKS 1159)

Advanced Energy RFPP 5S w / AM5 matching nettverk

290 Ion Gauge controller

MKS 286 Controller

Koble boks

Plasmatherm PC OS

208V, 60amp, 60Hz 3-fase