Produkter: Plasma
Tegal Plasma 915 Batch 3 etcher - SOLGT

Teknisk Synopsis
Høyde 34 "
Bredde 24 "
Dybde 36 "
Vekt ca: 400 LBS
Pumpe D 30 A
Wafer Kapasitet: 100-125mn 220 VAC
ELECTRODE CAGE
Høyde 8,26 "
Bredde 16,37 "
Dybde 12.38 "
Reaksjonskammeret
Høyde 10 "
Bredde 18 "
Dybde 12.75 "















































