Techniczne Synopsis

System pomiarowy Film

Zakres grubości

Pliki * 100-500,000 angstremów

Wielkość plamki

Pliki * 50ym z 5-krotnym Celu
Pliki * 25ym z 10-krotnym Celu
Pliki * 6.5ym z 40X Celu

Powtarzalność

* 5A + lub - 5%
* Zależy od typu folii
* Czas pomiaru 2,5 s (typowo)

RODZAJE FILM

* Azotku krzemu na
* Polisilikonowa na tlenku
* Azotek na tlenku
* Tlenek on Silicon
* Odporność na negatywne Silicon
* Odporność na negatywne tlenku
* (Grube warstwy) 115V 50/60 Hz