Techniczne Synopsis

System przetwarzania Prime

System Engineering Wydajność (YES) LP-III jest tri-funkcjonalny piec próżniowy, który może być stosowany do próżni oparów gruntowania, odwrócenia obrazu i sililowania. Z HMDS głowy kolby off, urządzenie będzie działać jako standardowy próżniowej podkładu pary. HDMS pary gruntowania służy do poprawy przyczepności fotorezystu do wafla. Z HDMS grzałki, urządzenie będzie dostarczać wyższe ciśnienie gorących HDMS dla sililowania.

* Sterowany mikroprocesorem
* 120 VAC; 11,3; 60Hz; 1300 watów
Pliki * rozgrzanym N2 (gazem procesowym)
* Blokada
* Pompa próżniowych - CFM
Podręcznik użytkownika *
* Temperatura tak wysokie, jak 200 stopni C