System RIE z następujących cech:

• Fullly zautomatyzowany system RIE z komputera sterującego, CRT i klawiatury  
• SST Izba  
• 12 "Woda do chłodzenia elektrod  
• Balzers Turbo Pump  
• Leybold Mechaniczna pompa  
• AE RFX 600 Zasilanie z sieci auto dopasowania  
• Wykrywanie Endpoint Laser
• Bay Water Chiller Voltex