Produkty: profilery powierzchniowe
Dektak IIA
- Programowalny liniowy system skanowania używane do dokładnych pomiarów na pionowych elementów, począwszy wysokości od 100 - 655,000 Angstremów
- Rozdzielczość pionowa 5 Angstremów, czas skanowania 4 - 65 sekund
- 12,5 promień rysik mikronów z 10 - 50mg siła tracking
- Etap może obsłużyć do 5 "wafla średnicy lub części do 3/4" grubości
- Maksymalnie 1000 punktów danych
- 3 prędkości skanowania
- 70x mikroskop jest standardem
