Rendimento Engenharia de Sistemas; SIM-5 é um vácuo Bake Vapor Sistema Prime. O sistema é projetado para criar a superfície ideal para a adesão fotorresiste.

1. Controle do microprocessador de saída com o monitoramento de entrada
2. Multi-programação capacidades
3. Ciclo completo / abortar luz e Sonalert
4. Eletropolidos câmara de aço inoxidável 316
5. Câmara interna soldas
6. Duas chaves de segurança independentes sobretemperatura
7. Nitrogênio pré-aquecido
8. Azoto filtro, 0,5 micron
9. Top-soldado, prateleira de aço inoxidável interno
10. Programa de lock-out
11. Montado na lateral frasco HMDS