RIE do sistema com as seguintes características:

• Fullly sistema automatizado de RIE com computador de controle, CRT e Teclado  
• SST Câmara  
• 12 Eletrodo Água "refrigerado  
• Balzers Bomba Turbo  
• Bomba mecânica Leybold  
• AE RFX Alimentação 600 com rede de auto correspondência  
• Detecção Endpoint Laser
• Bay refrigerador de água Voltex